晶圆检测服务

晶圆检测须知

企来检是一家专业的晶圆第三方检测机构，可以提供晶圆检测报告办理服务

检测周期：3-7个工作日

送检方式：邮寄送样、上门采样、自主送样（根据样品类型自选）

1、衬底检测：检查晶圆的基底材料是否存在缺陷或不均匀性，以确保其质量符合标准。

2、表面反射率测量：通过测量晶圆表面的光反射率来评估其平整度和光滑度。

3、键合检测：对晶圆进行化学键合测试，以确定其与基底材料的结合强度和稳定性。

4、缺陷检测：使用高分辨率显微镜等工具检测晶圆表面的各种缺陷，如划痕、颗粒、气泡等。

5、晶圆扁平度检查：通过测量晶圆的曲率和平面度来评估其整体形状和平整度。

6、晶圆抗弯性能测试：对晶圆进行弯曲试验，以评估其在不同应力下的抗弯性能和耐久性。

7、晶圆清洁度测试：通过测量晶圆表面的杂质含量和清洁度来评估其制造过程中的污染控制效果。

8、表面检测：利用光学显微镜等工具对晶圆表面进行详细检查，以发现任何潜在的问题或异常。

9、热膨胀系数测量：通过测量晶圆在加热过程中的尺寸变化来计算其热膨胀系数，以预测其在高温下的行为。

10、晶格结构分析：利用X射线衍射等技术对晶圆的晶体结构进行分析，以确定其晶格参数和晶体质量。

1、GB/T 34177-2017《光刻用石英玻璃晶圆》

该标准规定了光刻用石英玻璃晶圆的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。适用于光刻工艺中使用的石英玻璃晶圆，主要对晶圆的尺寸、平面度、表面粗糙度、折射率等性能指标进行规定。

2、GB/T 42706.5-2023《电子元器件 半导体器件长期贮存 第5部分：芯片和晶圆》

该标准规定了半导体器件长期贮存的要求和方法，适用于芯片和晶圆的长期贮存。主要内容包括贮存环境条件、贮存期限、贮存过程中的检查和维护、贮存后的复验等。

3、DB13/T 5865-2023《晶圆表面颗粒度检查仪校准方法》

该标准规定了晶圆表面颗粒度检查仪的校准方法，适用于晶圆表面颗粒度检查仪的校准。主要内容包括校准仪器的校准条件、校准方法、校准结果的评定和校准周期等。

4、GB/T 25188-2010《硅晶片表面超薄氧化硅层厚度的测量 X射线光电子能谱法》

该标准规定了硅晶片表面超薄氧化硅层厚度的测量方法，采用X射线光电子能谱法进行测量。主要内容包括测量原理、测量仪器、样品制备、测量步骤、数据处理和结果表示等。

5、GB/T 26066-2010《硅晶片上浅腐蚀坑检测的测试方法》

该标准规定了硅晶片上浅腐蚀坑的检测方法，适用于硅晶片上浅腐蚀坑的检测。主要内容包括检测原理、检测仪器、样品制备、检测步骤、数据处理和结果表示等。

办理一份晶圆检测报告的的费用大概在700元至5000元左右。

1、预约送检：填写产品预约送检单

2、确认标准：确认晶圆执行标准

3、确认项目：确认晶圆需要检测的项目

4、沟通费用：双方沟通最终检测费用

5、送检样品：按实验室要求送样

6、出具报告：为您出具晶圆检测报告