晶圆检测须知
企来检是一家专业的晶圆第三方检测机构，可以提供晶圆检测报告办理服务
检测周期：3-7个工作日
送检方式：邮寄送样、上门采样、自主送样（根据样品类型自选）
一、晶圆常见检测项目说明1、衬底检测：检查晶圆的基底材料是否存在缺陷或不均匀性，以确保其质量符合标准。
2、表面反射率测量：通过测量晶圆表面的光反射率来评估其平整度和光滑度。
3、键合检测：对晶圆进行化学键合测试，以确定其与基底材料的结合强度和稳定性。
4、缺陷检测：使用高分辨率显微镜等工具检测晶圆表面的各种缺陷，如划痕、颗粒、气泡等。
5、晶圆扁平度检查：通过测量晶圆的曲率和平面度来评估其整体形状和平整度。
6、晶圆抗弯性能测试：对晶圆进行弯曲试验，以评估其在不同应力下的抗弯性能和耐久性。
7、晶圆清洁度测试：通过测量晶圆表面的杂质含量和清洁度来评估其制造过程中的污染控制效果。
8、表面检测：利用光学显微镜等工具对晶圆表面进行详细检查，以发现任何潜在的问题或异常。
9、热膨胀系数测量：通过测量晶圆在加热过程中的尺寸变化来计算其热膨胀系数，以预测其在高温下的行为。
10、晶格结构分析：利用X射线衍射等技术对晶圆的晶体结构进行分析，以确定其晶格参数和晶体质量。
二、晶圆执行标准依据1、GB/T 34177-2017《光刻用石英玻璃晶圆》
2、GB/T 5-2023《电子元器件 半导体器件长期贮存 第5部分：芯片和晶圆》
3、DB13/T 5865-2023《晶圆表面颗粒度检查仪校准方法》
4、GB/T 25188-2010《硅晶片表面超薄氧化硅层厚度的测量 X射线光电子能谱法》
5、GB/T 26066-2010《硅晶片上浅腐蚀坑检测的测试方法》
三、晶圆检测费用参考办理一份晶圆检测报告的的费用大概在700元至5000元左右。
| 检测项目（部分） | 检测价格（预估） |
| 扁平度检查 | 350 |
| 颜色检查 | 150 |
| 光学透过率测量 | 350 |
| 表面 | 150 |
| 键合 | 150 |
| 平整度检查 | 200 |
| 密度测量 | 300 |
| 载流子浓度分析 | 350 |
| 热膨胀系数测量 | 300 |
| 清洁度测试 | 250 |
1、预约送检：填写产品预约送检单
2、确认标准：确认晶圆执行标准
3、确认项目：确认晶圆需要检测的项目
4、沟通费用：双方沟通最终检测费用
5、送检样品：按实验室要求送样
6、出具报告：为您出具晶圆检测报告
附：晶圆检测背景
晶圆是用于制造半导体集成电路的硅晶片，它是由高纯度的多晶硅经过一系列精细的工艺流程制成的。这些流程包括将多晶硅溶解、加入硅晶体晶种并慢慢拉出形成单晶硅的硅晶棒，然后将这些硅晶棒切割和抛光，最终形成圆形的硅晶片。晶圆的圆形形状归因于其生产工艺，虽然严格意义上晶圆并非完美的圆形，它们可能会有缺口或棱角。此外，由于硅的天然圆柱形态，晶圆通常也是圆形的。尽管在光伏产业中方形硅片有其优势，但晶圆的标准形状依然是圆形，这对于集成电路生产而言具有更高的良率和更佳的生产效率。晶圆作为芯片生产的物理基础，上面可以加工制作成各种电路元件结构。
