光刻胶检测须知
企来检是一家专业的光刻胶第三方检测机构，可以提供光刻胶检测报告办理服务
检测周期：3-7个工作日
送检方式：邮寄送样、上门采样、自主送样（根据样品类型自选）
一、光刻胶常见检测项目说明1、光刻胶硬度：衡量光刻胶在受到外力作用时抵抗形变的能力，通常使用硬度计进行测量。
2、光刻胶溶解度：指光刻胶在特定溶剂中的溶解能力，通常以百分比表示。
3、光刻胶热稳定性：衡量光刻胶在高温环境下的稳定性能，通常通过热重分析和差示扫描量热法进行评估。
4、光刻胶抗离子污染性能：评价光刻胶对离子污染物的抵抗能力，通常通过离子色谱法进行分析。
5、光刻胶抗蚀性能：衡量光刻胶在酸性或碱性环境下的耐腐蚀性能，通常通过浸泡试验和电化学测试进行评估。
6、光刻胶线宽均匀性：评价光刻胶在光刻过程中形成的线条宽度的一致性，通常通过光学显微镜和扫描电子显微镜进行观察。
7、光刻胶粘度：衡量光刻胶的流动性能，通常使用旋转粘度计进行测量。
8、光刻胶附着力：评价光刻胶与基底材料之间的粘结强度，通常通过剥离试验和划格试验进行评估。
9、光刻胶厚度：衡量光刻胶涂层的厚度，通常使用薄膜测厚仪进行测量。
10、光刻胶抗湿性能：评价光刻胶在潮湿环境下的稳定性能，通常通过湿度试验和吸水率测试进行评估。
二、光刻胶执行标准依据1、T/ICMTIA 1-2020《集成电路用 ArF 干式光刻胶》
2、T/ICMTIA 2-2020《集成电路用ArF浸没式光刻胶》
3、T/QGCML 2307-2023《光刻胶用低金属含量四甲氧甲基甘脲生产技术要求》
三、光刻胶检测费用参考办理一份光刻胶检测报告的的费用大概在600元至3000元左右。
| 检测项目（部分） | 检测价格（预估） |
| 曝光敏感度 | 250 |
| 抗湿性能 | 100 |
| 厚度 | 250 |
| 粘度 | 100 |
| 抗热冲击性能 | 400 |
| 抗机械冲击性能 | 200 |
| 抗紫外线性能 | 350 |
| 热稳定性 | 400 |
| 抗离子污染性能 | 100 |
| 硬度 | 150 |
1、预约送检：填写产品预约送检单
2、确认标准：确认光刻胶执行标准
3、确认项目：确认光刻胶需要检测的项目
4、沟通费用：双方沟通最终检测费用
5、送检样品：按实验室要求送样
6、出具报告：为您出具光刻胶检测报告
附：光刻胶检测背景
光刻胶是一种对光敏感的混合液体，由感光树脂、增感剂和溶剂3种主要成分组成的对光敏感的混合液体。光刻胶可以通过光化学反应，经曝光、显影等光刻工序将所需要的微细图形从光罩（掩模版）转移到待加工基片上，是制造芯片过程中不可或缺的关键材料。
