掩膜版检测须知
企来检是一家专业的掩膜版第三方检测机构,可以提供掩膜版检测报告办理服务
检测周期:3-7个工作日
送检方式:邮寄送样、上门采样、自主送样(根据样品类型自选)
一、掩膜版常见检测项目说明1、掩膜版对准精度: 检查掩膜版的图案与设计蓝图在精确位置上的匹配度,确保所有元素正确对位。
2、掩膜版表面污染检测: 评估掩膜版表面是否存在灰尘、污渍等污染物,以确保清洁度满足生产要求。
3、掩膜版表面粗糙度: 测量掩膜版表面的微观不平度,保证其足够平滑以便于高精度的印刷或刻蚀过程。
4、掩膜版图形尺寸精度: 确认掩膜版上图形的实际尺寸是否严格按照设计规范执行,避免生产过程中的误差。
5、掩膜版热稳定性测试: 检验掩膜版在高温条件下的形状和性能保持情况,确保在热处理过程中不会变形或损坏。
6、掩膜版图形缺陷检测: 通过高分辨率成像技术识别掩膜版图形中的任何微小缺陷,如划痕、针孔等。
7、掩膜版图形线边缘清晰度: 评价图案边缘的锋利程度和清晰度,保证图案转移时边缘整齐无模糊。
8、掩膜版尺寸精度: 确保掩膜版的物理尺寸与设计图纸相符,适用于特定的生产设备和工艺。
9、掩膜版化学稳定性测试: 分析掩膜版材料在不同化学物质环境下的稳定性,防止因化学反应而导致的性能变化。
10、掩膜版图形覆盖度: 测定图形区域相对于整个掩膜版面积的比例,确保图形分布均匀且符合设计意图。
二、掩膜版执行标准依据1、SJ/T 11516-2015《薄膜晶体管(TFT)用掩模版规范》
2、T/CIET 693-2024《高精度金属掩膜版技术要求》
3、T/XAI 16-2023《覆晶薄膜基板掩膜版图纸设计规范》
4、T/JSIES 010-2024《主动矩阵有机发光二极体面板(AMOLED)真空镀膜用金属掩膜版》
三、掩膜版检测费用参考办理一份掩膜版检测报告的的费用大概在200元至6000元左右。
检测项目(部分) | 检测价格(预估) |
化学稳定性测试 | 200 |
使用寿命评估 | 400 |
光学性能测试 | 400 |
对准精度 | 250 |
图形缺陷 | 400 |
外观检查 | 300 |
图形尺寸精度 | 250 |
图形线边缘清晰度 | 350 |
尺寸精度 | 300 |
表面污染 | 150 |
1、预约送检:填写产品预约送检单
2、确认标准:确认掩膜版执行标准
3、确认项目:确认掩膜版需要检测的项目
4、沟通费用:双方沟通最终检测费用
5、送检样品:按实验室要求送样
6、出具报告:为您出具掩膜版检测报告
附:掩膜版检测背景
掩膜版是微电子制造中用于定义半导体芯片或液晶显示屏上电路图案的透明石英或玻璃板,上面有精确的金属(如铬)图案。在光刻过程中,它与涂有光敏材料的硅片对准并通过曝光将图案转移到硅片上,直接影响最终产品的性能和产量。掩膜版的制造是一个高度专业化的过程,涉及复杂的图形设计和精确的加工技术。
