晶圆检测报告办理流程介绍

晶圆检测报告如何办理？第三方检测去哪里？晶圆检测报告最新办理流程如下。

步骤一、联系具有晶圆检测能力的机构

确认联系的机构或者实验室具备晶圆检测能力，确保检测报告的权威性，具备法律效力。

一定要选择国家认可具备CMA/CNAS资质的实验室。如：上海瀚诺维检测技术有限公司，长沙邦菲利检测技术有限公司温州分公司，福建中灵制衡检测技术有限公司集美分公司，江苏祥景灿检测技术有限公司，喀什卓信检测服务有限公司，新疆天宇检测有限公司等。

步骤二、确认晶圆执行哪些标准

要与工程师沟通本次需要检测的需求，确认晶圆的执行标准。

晶圆需要依据：GB/T 34177-2017《光刻用石英玻璃晶圆》，GB/T 42706.5-2023《电子元器件 半导体器件长期贮存 第5部分：芯片和晶圆》，DB13/T 5865-2023《晶圆表面颗粒度检查仪校准方法》，GB/T 25188-2010《硅晶片表面超薄氧化硅层厚度的测量 X射线光电子能谱法》，GB/T 26066-2010《硅晶片上浅腐蚀坑检测的测试方法》等执行标准，评估晶圆的检测结果是否符合标准规定，以证明产品是否合格。

步骤三、确认晶圆需要检测的具体项目

办理晶圆第三方检测报告时可以选择一些项目进行检测，以下项目并不需要全部检测，报告用途不同，需要检测的项目则不同。晶圆检测项目包括：缺陷，表面，衬底，键合，电性，直径测量，厚度测量，平整度检查，表面粗糙度测量，晶格结构分析，掺杂浓度测量，电阻率测量，载流子浓度分析，光学透过率测量，表面反射率测量，杂质，形状检查，定位确定，热膨胀系数测量，扁平度检查等。

步骤四、沟通晶圆检测费用和周期

沟通确认好晶圆检测的费用明细，以及检测周期时间，一般3-7天即可完成样品检测，要求加急可另行沟通注明。

步骤五、进行晶圆送样

按照实验室要求送检，根据样品不同，可以选择邮寄送样、上门采样或者自主送样。

步骤六、获取晶圆检测报告

第三方检测机构根据确认的检测项目，依据GB/T 34177-2017《光刻用石英玻璃晶圆》相关标准出具最终检测报告。检测报告上会显示晶圆的表面反射率测量，颜色检查，载流子浓度分析，平整度检查等各种项目的检测结果。我们可以选择让实验室邮寄纸质报告或者发送电子版检测报告。

晶圆检测需要注意什么

晶圆是用于制作硅半导体电路的硅晶片。原始材料为高纯度的硅，通过单晶直拉法工艺拉出的单晶硅柱经研磨、抛光后切割成圆形硅晶片。这种圆形设计是因为圆形晶圆在生产过程中具有更高的良率以及更方便的生产特点。在办理晶圆检测时要选择具备资质的机构，最后要确认晶圆检测报告上是否盖有CMA印章。

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