YS/T 978-2014《单晶炉碳/碳复合材料导流筒》

YS/T 978-2014《单晶炉碳/碳复合材料导流筒》基本信息

标准号：YS/T 978-2014

中文名称：《单晶炉碳/碳复合材料导流筒》

发布日期：2014-10-14    

实施日期：2015-04-01

发布部门：中华人民共和国工业和信息化部    

归口单位：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)    

起草单位：湖南金博复合材料科技有限公司、西安隆基硅材料股份有限公司

起草人：廖寄乔、李军、谭周建、邰卫平、李定武、王跃军、龚玉良、周锐、陈英、李丙菊、石磊    

中国标准分类号：H83化合物半导体材料

国际标准分类号：29.045半导体材料

YS/T 978-2014《单晶炉碳/碳复合材料导流筒》介绍

YS/T 978-2014《单晶炉碳/碳复合材料导流筒》是由中华人民共和国工业和信息化部发布的一项行业标准。该标准于2014年10月14日发布，并于2015年4月1日正式实施。

一、标准适用范围

YS/T 978-2014标准主要适用于单晶炉中使用的碳/碳复合材料导流筒。导流筒作为单晶炉的重要组成部分，负责将高温气体均匀地引导至炉内各个部位，以保证晶体生长的稳定性和质量。通过制定标准，可以确保导流筒的性能和质量满足单晶硅生长过程中的需求。

二、技术要求

1、材料选择

标准规定，导流筒应采用碳/碳复合材料作为主要制造材料。碳/碳复合材料具有高强度、高导热性、低热膨胀系数和良好的耐腐蚀性等特点，使其成为单晶炉导流筒的理想选择。

2、尺寸精度

YS/T 978-2014标准对导流筒的尺寸精度提出了具体要求。导流筒的内径、外径、长度等尺寸应符合规定范围内的公差要求，以保证其在单晶炉中的安装和使用。

3、表面质量

导流筒的表面应光滑、无裂纹、无气泡、无分层等缺陷。导流筒的表面粗糙度也应满足一定的标准要求，以减少气体流动过程中的阻力。

4、热性能

标准对导流筒的热性能提出了具体要求，包括导热系数、比热容和热膨胀系数等。这些热性能参数直接影响导流筒在高温环境下的工作性能。

5、机械性能

导流筒应具备一定的机械强度和刚度，以承受单晶炉在运行过程中产生的各种力。标准对导流筒的抗拉强度、抗压强度和抗弯强度等机械性能指标提出了明确要求。

三、检验方法

YS/T 978-2014标准详细规定了导流筒的检验方法，包括尺寸检验、表面质量检验、热性能检验和机械性能检验等。通过这些检验方法，可以确保导流筒的生产质量符合标准要求。

1、尺寸检验

尺寸检验主要包括内径、外径和长度等尺寸的测量。检验时应使用符合精度要求的测量工具，并按照规定的方法进行测量。

2、表面质量检验

表面质量检验主要是对导流筒的外观进行检查，以确保其表面无裂纹、气泡和分层等缺陷。

3、热性能检验

热性能检验包括导热系数、比热容和热膨胀系数等参数的测定。这些参数的测定通常需要使用专门的测试设备和方法。

4、机械性能检验

机械性能检验主要包括抗拉强度、抗压强度和抗弯强度等指标的测定。这些指标的测定需要使用相应的测试设备和方法。

四、标志、包装、运输和储存

1、标志

导流筒应有清晰的产品标志，包括产品名称、规格型号、生产日期、生产批号等信息。

2、包装

导流筒的包装应符合防潮、防尘、防震等要求，以保护产品在运输过程中不受损坏。

3、运输

导流筒在运输过程中应避免剧烈震动和碰撞，以防止产品受损。

4、储存

导流筒应储存在干燥、通风、无腐蚀性气体的环境中，以保证其性能和质量。

YS/T 978-2014《单晶炉碳/碳复合材料导流筒》标准的制定和实施，为单晶炉导流筒的生产和应用提供了一个明确的技术规范。通过遵循这一标准，相关企业可以生产出性能优越、质量可靠的导流筒产品，从而提高单晶硅生长的效率和质量。

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