标准详情
GB/T 17473.2-2008《微电子技术用贵金属浆料测试方法 细度测定》基本信息
标准号:GB/T 17473.2-2008
中文名称:《微电子技术用贵金属浆料测试方法 细度测定》
发布日期:2008-03-31
实施日期:2008-09-01
发布部门:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
提出单位:中国有色金属工业协会
归口单位:全国有色金属标准化技术委员会
起草单位:贵研铂业股份有限公司
起草人:武新荣、罗云、陈伏生、李文琳、马晓峰、朱武勋、李晋
中国标准分类号:H68贵金属及其合金
国际标准分类号:77.120.99其他有色金属及其合金
GB/T 17473.2-2008《微电子技术用贵金属浆料测试方法 细度测定》介绍
GB/T 17473.2-2008《微电子技术用贵金属浆料测试方法 细度测定》是中国国家标准,由中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局和中国国家标准化管理委员会联合发布,于2008年3月31日发布,自2008年9月1日起正式实施。
一、标准适用范围
GB/T 17473.2-2008标准适用于微电子技术领域使用的贵金属浆料,包括金、银、铂、钯等贵金属制成的浆料。这些浆料广泛应用于微电子器件的制造过程中,如集成电路、半导体器件、光电器件等。通过细度测定,可以评估贵金属浆料的质量和性能,保证微电子器件的可靠性和稳定性。
二、测试方法
1、筛分法
筛分法是通过将贵金属浆料通过不同孔径的筛子,根据通过筛子的量来评估浆料的细度。该方法简单易行,适用于初步评估浆料的细度。
2、粒度分析法
粒度分析法是通过测量浆料中颗粒的尺寸分布,来评估浆料的细度。该方法可以更精确地反映浆料的细度特性,适用于对浆料细度要求较高的应用场景。
三、测试条件和设备
1、测试条件
测试应在温度为23℃±2℃,相对湿度为50%±10%的条件下进行。还应确保测试过程中不受振动、噪音等外部干扰。
2、测试设备
测试所需的设备包括筛子、粒度分析仪、天平等。筛子应符合国家标准的要求,粒度分析仪应具有较高的精度和分辨率,天平应具有足够的灵敏度和准确性。
四、测试步骤
GB/T 17473.2-2008标准详细规定了筛分法和粒度分析法的测试步骤,以确保测试过程的标准化和规范化。
筛分法测试步骤
1、准备筛子和试样。
2、将试样均匀分布在筛子上。
3、按照规定的时间进行筛分。
4、称量通过筛子的试样重量。
5、计算细度。
粒度分析法测试步骤
1、准备试样和粒度分析仪。
2、将试样加入粒度分析仪中。
3、开始测量颗粒尺寸分布。
4、分析测量结果,计算细度。
五、结果评估
根据测试结果,可以评估贵金属浆料的细度特性。细度越高,表示浆料中颗粒越小,分散性越好。细度的高低直接影响到微电子器件的性能和可靠性。
六、标准意义
GB/T 17473.2-2008标准的制定和实施,为微电子技术用贵金属浆料的细度测定提供了统一的方法和标准,有助于提高产品质量,保证微电子器件的性能和可靠性。同时,该标准也为微电子技术领域的科研和生产提供了重要的技术指导,促进了行业的技术进步和产业升级。