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GB/T 32651-2016《采用高质量分辨率辉光放电质谱法测量太阳能级硅中痕量元素的测试方法》

GB/T 32651-2016 更新时间: 2024-11-10

标准详情

GB/T 32651-2016《采用高质量分辨率辉光放电质谱法测量太阳能级硅中痕量元素的测试方法》基本信息

标准号:GB/T 32651-2016

中文名称:《采用高质量分辨率辉光放电质谱法测量太阳能级硅中痕量元素的测试方法》

发布日期:2016-04-25    

实施日期:2016-11-01

发布部门:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局  中国国家标准化管理委员会    

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)    

起草单位:国家太阳能光伏产品质量监督检验中心(无锡市产品质量监督检验中心)、江苏中能硅业科技发展有限公司、国家硅材料深加工产品质量监督检验中心、江西赛维LDK太阳能高科技有限公司、中国电子技术标准化研究院

起草人:何莉、吴建国、王琴、周滢、刘晓霞、鲁文锋、陈进、封丽娟、李建德、黄雪雯、孙绍武、冯亚彬、裴会川    

中国标准分类号:H82元素半导体材料

国际标准分类号:29.045半导体材料

GB/T 32651-2016《采用高质量分辨率辉光放电质谱法测量太阳能级硅中痕量元素的测试方法》介绍

GB/T 32651-2016《采用高质量分辨率辉光放电质谱法测量太阳能级硅中痕量元素的测试方法》(以下简称“标准”)标准由中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局和中国国家标准化管理委员会联合发布,于2016年4月25日发布,并于2016年11月1日起正式实施。

一、标准内容详述

1、范围

该标准明确了适用范围,即太阳能级硅材料中痕量元素的测量,包括但不限于硼、磷、锗、铁、铝、钛、钒、铬、锰、钴、镍、铜、锌、镓、锗、铟、铊、铅、镉、铋等元素。

2、规范性引用文件

标准列出了在实施过程中需要参考的其他相关标准和文件,如ISO、IEC等国际标准,以及相关的国家和行业标准。

3、术语和定义

对高质量分辨率辉光放电质谱法(HR-GDMS)及相关术语进行了定义,以确保在测试过程中术语的统一和准确性。

4、仪器设备

详细描述了进行HR-GDMS分析所需的仪器设备,包括辉光放电源、质谱仪、样品导入系统等,并对其性能指标提出了具体要求。

5、样品的采集与制备

标准规定了样品采集和制备的具体步骤,包括样品的切割、研磨、称量、封装等,以确保样品的代表性和测试的准确性。

6、测试方法

详细阐述了HR-GDMS测试的具体操作步骤,包括样品的引入、辉光放电的参数设置、质谱分析条件的优化、数据采集和处理等。

7、质量控制

对测试过程中的质量控制提出了要求,包括内部质量控制和外部质量控制,确保测试结果的准确性和可重复性。

8、测试结果的报告

规定了测试结果的报告格式,包括测试结果的表示方式、不确定度的评估、测试结果的解释等。

二、标准的意义

GB/T 32651-2016标准的实施,对于提高太阳能级硅材料的质量控制水平,保障太阳能电池的转换效率和稳定性具有重要意义。该标准为太阳能级硅材料中痕量元素的测试提供了科学、规范的方法,有助于推动太阳能光伏产业的健康发展。

GB/T 32651-2016标准的发布和实施有助于提升整个行业的技术水平和产品质量。

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