标准详情
“电子级水中总有机碳的测试方法”的标准号是：GB/T 11446.8-2013
GB/T 11446.8-2013《电子级水中总有机碳的测试方法》由中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会于2013-12-31发布，并于2014-08-15实施。
该标准的起草单位为信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国科学院半导体研究所、中国电子技术标准化研究院、中国电子科技集团公司第四十六研究所；起草人是王奕、褚连青、何秀坤、段曙光、提刘旺、刘筠 。
“电子级水中总有机碳的测试方法”介绍
电子级水，也被称为超纯水，是用于半导体制造和其它高科技行业中的关键材料。在制造过程中，保持水质的纯度非常关键，因此需要对其中的总有机碳(TOC)进行精确的测量。测试电子级水中的总有机碳含量通常采用以下几种方法：
一种常见的方法是通过使用紫外线促进氧化结合接触式反应器技术来实现的。在这个过程中，水样首先会接触到特定的催化剂，如铂或者二氧化钛，然后在紫外灯的照射下被激发以加速有机物质的氧化过程。这种光化学反应可以高效地转换水中的有机物为二氧化碳，随后可以通过非散射性红外检测器(NDIR)来量化生成的CO2, 从而推算出原始样品中的总有机碳浓度。
另一种方法是采用高温燃烧氧化技术。在此技术中，水样被注射进一个高温炉，温度通常超过900度摄氏。在这样的高温环境下，几乎所有的有机化合物都会被完全氧化成二氧化碳和水。然后，生成的CO2通过冷却阱被浓缩并传输至非散射性红外检测器进行分析。这种方法的优点是可以处理含有难氧化有机物的水样，并且具有较高的准确度和可靠性。
电子级水中总有机碳的测量对于保证半导体制程中水质的纯净性至关重要。上述提到的UV催化氧化法和高温燃烧法是行业内广泛认可的两种有效手段，能够提供高精度和高灵敏度的检测结果，以满足严格的工业标准。这些方法不仅有助于监控水质，还能确保制造过程中产品的高质量。
