标准详情
GB/T 12963-2022是中国国家标准，规定了电子级多晶硅的技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输以及贮存等内容。以下是该标准规定的主要内容：
1. 引言
本部分介绍了电子级多晶硅的定义、应用范围、标准依据和简介。
2. 规范性引用文件
本部分列出了与该标准相关的其他国家标准，包括试验方法、检验规则、质量控制等方面的标准。
3. 术语和定义
本部分列出了在该标准中使用的定义和术语，包括多晶硅、电子级多晶硅、掺杂等相关术语的定义。
4. 技术要求
4.1 化学成分要求
该部分规定了电子级多晶硅的化学成分要求，包括杂质元素的含量、总碳含量、掺杂元素的种类和含量等。
4.2 晶体质量要求
该部分规定了电子级多晶硅的晶体质量要求，包括晶体结构、析出物、晶体缺陷等方面的要求。
4.3 电气性能要求
该部分规定了电子级多晶硅的电气性能要求，包括载流子浓度、载流子迁移率、电阻率等方面的要求。
4.4 其他要求
该部分列出了电子级多晶硅的其他要求，包括表面质量、外观、尺寸、包装等方面的要求。
5. 试验方法
5.1 化学成分分析方法
该部分详细列出了电子级多晶硅化学成分分析的试验方法，包括溶剂萃取法、原子吸收光谱法、离子色谱法等。
5.2 晶体质量检验方法
该部分详细列出了电子级多晶硅晶体质量检验的试验方法，包括薄片法、X射线衬度法、显微镜观察法等。
5.3 电气性能检验方法
该部分详细列出了电子级多晶硅电气性能检验的试验方法，包括载流子浓度测定法、载流子迁移率测量法、电阻率测量法等。
5.4 其他试验方法
该部分列出了电子级多晶硅的其他试验方法，包括表面质量检验法、尺寸测量法、包装检验法等。
6. 检验规则与标志
该部分规定了电子级多晶硅的检验规则和标志，包括抽样、检验结果判定、合格标志等。
7. 包装、运输与贮存
该部分规定了电子级多晶硅的包装、运输与贮存要求，包括包装材料、标志、运输方式、贮存条件等。
8. 标准的编制
本部分介绍了该标准的编制过程、参与单位和主要起草人。
GB/T 12963-2022电子级多晶硅标准规定了电子级多晶硅的技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输以及贮存等内容。通过这个标准，可以确保电子级多晶硅的质量稳定性和可靠性，推动电子行业的发展。同时，该标准还对电子级多晶硅的生产、检验、使用提供了指导，促进了行业间的交流合作，提高了我国电子级多晶硅的竞争力和国际地位。
