标准详情
“硅单晶电阻率标准样片检定规程”的标准号是：JJG 48-2004
JJG 48-2004《硅单晶电阻率标准样片检定规程》由中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局于2004-09-21发布，并于2005-03-21实施。
该标准的起草单位为中国计量科学技术研究院；起草人是鲁效明。
“硅单晶电阻率标准样片检定规程”介绍
硅单晶电阻率标准样片检定规程是一种针对硅单晶电阻率测量准确性的标准化程序，它旨在保证电阻率量值的准确性和一致性。在半导体制造领域，硅单晶的电阻率是一项关键参数，它直接影响着芯片的性能和可靠性。为了确保硅片质量及其在后续工艺中的可控性，制定并实施了这一规程。
该规程详细规定了标准样片的选择、制备、保存以及检定方法，包括对标准样片的电阻率范围、尺寸规格、表面处理等方面的要求。同时，也对使用这些标准样片进行检测的仪器校准、操作步骤、数据处理等环节提出了明确的指导和规范。通过执行这些规程，可以有效地监控和调整生产过程中的硅单晶电阻率，以确保最终产品能满足严格的电子行业标函。
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