标准详情
GB/T 12962-2015是中国国家标准中关于硅单晶的规定。该标准主要包含了硅单晶的定义、术语、规格以及物理、化学、机械性能等方面的要求。以下是该标准主要规定的内容：
1. 硅单晶的定义和术语：
- 硅单晶：指不同类型和尺寸的纯度较高的硅晶体。
- 掺杂浓度：硅单晶中掺杂杂质的含量。
- 牺牲层：在硅单晶制备过程中为减小硅单晶的厚度而生长的一层硅片。
- 唯一晶向：硅单晶中只存在一个晶体取向。
2. 硅单晶的规格：
- 尺寸：硅单晶的直径、长度、宽度等尺寸的要求。
- 表面状态：硅单晶表面的平整度、光洁度、无缺陷程度的要求。
- 弯曲度：硅单晶杆的弯曲度要求。
3. 硅单晶的物理性能：
- 晶格常数：硅单晶的晶格常数和变化范围。
- 密度：硅单晶的密度和变化范围。
- 热膨胀系数：硅单晶的热膨胀系数和变化范围。
- 硬度：硅单晶的硬度和变化范围。
4. 硅单晶的化学性质：
- 电阻率：硅单晶的电阻率和变化范围。
- 杂质含量：硅单晶中各种杂质的约束要求。
- 水溶性杂质：硅单晶中水溶性杂质的限制及要求。
- 气体杂质：硅单晶中气体杂质的限制及要求。
- 化学稳定性：硅单晶对酸、碱等化学物质的稳定性要求。
5. 硅单晶的机械性能：
- 抗拉强度：硅单晶在拉伸条件下的抗拉强度和变化范围。
- 抗压强度：硅单晶在压缩条件下的抗压强度和变化范围。
- 弹性模量：硅单晶的弹性模量和变化范围。
标准还包括了硅单晶的制备方法、加工工艺、检测方法等方面的技术要求。GB/T 12962-2015旨在规范硅单晶产品的制备和使用，保证其质量和性能的稳定性，以满足不同领域的需求。
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