SJ 2798-1987《电子级气体中颗粒的测定方法 光散射法》

SJ 2798-1987《电子级气体中颗粒的测定方法  光散射法》基本信息

标准号：SJ 2798-1987

中文名称：《电子级气体中颗粒的测定方法  光散射法》

发布日期：1987-04-06    

实施日期：1988-01-01

发布部门：中华人民共和国电子工业部    

提出单位：中国电子学会洁净技术学会    

起草单位：电子工业部标准化研究所

起草人：周定华、杜俊英、赵长春    

中国标准分类号：A01技术管理

SJ 2798-1987《电子级气体中颗粒的测定方法  光散射法》介绍

SJ 2798-1987《电子级气体中颗粒的测定方法 光散射法》是中华人民共和国电子工业部于1987年4月6日发布的一项标准，SJ 2798-1987自1988年1月1日起正式实施。

一、标准内容

1、范围

SJ 2798-1987规定了电子级气体中颗粒物的测定方法，适用于电子级气体的生产、检测和应用过程。

2、术语和定义

标准对颗粒物、光散射法等术语进行了定义，明确了相关概念和适用范围。

3、原理

光散射法是一种基于颗粒物在光束中散射光的原理，通过测量散射光的强度来确定颗粒物的数量和大小。

4、仪器设备

标准规定了光散射法测定颗粒物所需的仪器设备，包括颗粒计数器、光源、样品采集装置等。

5、样品采集

样品采集是颗粒物测定的关键环节，标准对样品采集的方法、时间和频率等进行了详细规定。

6、测定方法

标准详细描述了光散射法测定颗粒物的具体操作步骤，包括样品的制备、测量条件的设置、数据记录和处理等。

7、结果计算

根据光散射法测量得到的数据，标准提供了颗粒物数量和大小的计算方法，以便于对电子级气体的质量进行评估。

8、质量控制

为确保测定结果的准确性和可靠性，标准对实验室环境、仪器设备校准、操作人员培训等方面提出了质量控制要求。

二、标准意义

SJ 2798-1987的制定和实施，对于提高电子级气体的质量和应用效果，保障电子工业的健康发展具有重要意义。该标准也为相关企业和技术人员提供了一套科学、合理的颗粒物测定方法，有助于提升我国电子级气体检测水平。

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