《电子级正硅酸乙酯》执行标准号

“电子级正硅酸乙酯”的标准号是：GB/T 43965-2024

GB/T 43965-2024《电子级正硅酸乙酯》由国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会于2024-04-25发布，并于2024-11-01 即将实施 距离实施日期还有64天实施。

该标准的起草单位为金宏气体股份有限公司、湖北新蓝天新材料股份有限公司、武汉新硅科技潜江有限公司、江苏南大光电材料股份有限公司、南大光电半导体材料有限公司、中国电子技术标准化研究院、浙江中宁硅业股份有限公司、内蒙古兴洋科技股份有限公司、洛阳中硅高科技有限公司等；起草人是孙猛、金向华、赵俊莎、肖俊平、李楷东、吴怡然、曹可慰、赵斌、陶刚义、孙明璐、陈德义、冯琼华、向冲、王成、黄天次、万烨、张园园、郭树虎、戈士勇、戈烨铭、何珂、李冲合、甘俊、陈道伟、张明英。

“电子级正硅酸乙酯”介绍

电子级正硅酸乙酯，作为一种高纯度的化学品，主要被应用于半导体制造领域。它具备优异的化学稳定性和良好的热稳定性，使得在集成电路生产过程中可以作为硅源或氧化硅膜的生长前体。由于它的高纯度要求，电子级正硅酸乙酯在生产中需要通过特殊的纯化步骤来确保其质量符合严格的工业标准，以满足电子行业对材料纯净度的严格需求。

电子级正硅酸乙酯的应用不仅限于传统的硅基半导体制造，随着科技进步与市场需求的变化，它还可能被用于先进的光电材料、绝缘薄膜以及纳米材料的制备中。其独特的物理化学属性，使其成为连接传统与现代半导体工艺的重要桥梁，不断推动着微电子技术的发展与创新。

在实际应用过程中，电子级正硅酸乙酯需要经过精确控制的过程才能达到最佳效果，例如在气相沉积技术中的应用要求严格控制温度和压力等参数，以保证生成的薄膜具有优良的电学性能和机械性能。同时，对于操作环境也有着极高的标准，以避免任何杂质污染对最终产品的性能产生影响。

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