YS/T 1053-2015《电子薄膜用高纯钴靶材》

YS/T 1053-2015《电子薄膜用高纯钴靶材》基本信息

标准号：YS/T 1053-2015

中文名称：《电子薄膜用高纯钴靶材》

发布日期：2015-04-30    

实施日期：2015-10-01

发布部门：中华人民共和国工业和信息化部    

提出单位：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)    

归口单位：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)    

起草单位：宁波江丰电子材料股份有限公司、有研亿金新材料有限公司

起草人：王学泽、李勇军、郑文翔、罗俊锋、袁海军、熊晓东、陈勇军、刘丹、陆彤、袁洁、张涛    

中国标准分类号：H62重金属及其合金

国际标准分类号：77.150.70镉和钴产品

YS/T 1053-2015《电子薄膜用高纯钴靶材》介绍

YS/T 1053-2015《电子薄膜用高纯钴靶材》由中华人民共和国工业和信息化部发布，于2015年4月30日发布，2015年10月1日正式实施。

一、化学成分要求

1、主要元素含量：高纯钴靶材的主要元素为钴，其含量应不小于99.95%（质量分数）。

2、杂质元素含量：标准对钴靶材中的杂质元素含量进行了严格规定，如铁、镍、铜、锌、铅、铬等元素的含量均应控制在一定范围内。

3、气体杂质含量：钴靶材中的气体杂质，如氢、氧、氮等，也应控制在标准规定的范围内。

二、物理性能要求

1、密度：高纯钴靶材的密度应不小于8.8g/cm³。

2、硬度：钴靶材的硬度应不小于190HV。

3、电阻率：钴靶材的电阻率应不大于6.2×10⁻⁶Ω·m。

4、晶粒度：钴靶材的晶粒度应不大于5μm。

三、外观质量要求

高纯钴靶材的外观质量应符合以下要求：

1、表面应光滑、无裂纹、无氧化皮、无油污等缺陷。

2、边缘应整齐，无明显毛刺。

3、靶材表面不得有影响使用的划痕、凹陷等缺陷。

四、尺寸偏差要求

1、厚度偏差：钴靶材的厚度偏差应控制在±0.05mm范围内。

2、直径偏差：钴靶材的直径偏差应控制在±0.5mm范围内。

五、包装要求

1、包装材料：钴靶材应采用防潮、防腐蚀、防冲击的包装材料。

2、包装方式：钴靶材应采用真空包装或充氮包装，以防止氧化。

六、标志要求

钴靶材的包装上应有清晰的产品名称、型号、规格、生产批号、生产日期等信息。

七、运输和贮存要求

1、运输：钴靶材在运输过程中应避免剧烈振动、撞击和高温。

2、贮存：钴靶材应存放在干燥、通风、无腐蚀性气体的环境中，避免直接暴露在空气中。

YS/T 1053-2015《电子薄膜用高纯钴靶材》标准的发布和实施，为电子薄膜行业提供了重要的技术规范和质量保证。

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