标准详情
YS/T 718-2009《平面磁控溅射靶材 光学薄膜用铌靶》基本信息
标准号:YS/T 718-2009
中文名称:《平面磁控溅射靶材 光学薄膜用铌靶》
发布日期:2009-12-04
实施日期:2010-06-01
发布部门:中华人民共和国工业和信息化部
提出单位:全国有色金属标准化技术委员会
归口单位:全国有色金属标准化技术委员会
起草单位:金川集团有限公司
起草人:汪锦瑞、宋谋通、郭大鹏、李娟、林秀英、吴亚辉
中国标准分类号:H63稀有高熔点金属及其化合物
国际标准分类号:77.150.99其他有色金属产品
YS/T 718-2009《平面磁控溅射靶材 光学薄膜用铌靶》介绍
本文将对YS/T 718-2009《平面磁控溅射靶材 光学薄膜用铌靶》标准由中华人民共和国工业和信息化部发布,自2010年6月1日起施行。
一、标准概述
YS/T 718-2009标准主要规定了平面磁控溅射靶材中光学薄膜用铌靶的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存等要求。
二、技术要求
1、铌靶的化学成分要求:标准规定了铌靶中铌的含量、杂质含量等化学成分的具体要求,以确保铌靶的纯度和性能。
2、铌靶的物理性能要求:包括铌靶的密度、硬度、抗拉强度等物理性能指标,以评估铌靶的机械性能。
3、铌靶的外观质量要求:规定了铌靶表面不得有裂纹、氧化、腐蚀等缺陷,以保证铌靶的使用性能。
三、试验方法
1、化学成分分析:通过光谱分析、滴定法等方法,对铌靶的化学成分进行测定。
2、物理性能测试:通过硬度计、拉伸试验机等设备,对铌靶的物理性能进行测试。
3、外观质量检查:通过目视检查和相关仪器设备,对铌靶的外观质量进行评估。
四、检验规则
1、出厂检验:铌靶生产企业应按照标准要求对产品进行出厂检验,确保产品质量。
2、型式检验:在铌靶生产过程中,应定期进行型式检验,以评估产品的性能稳定性。
3、验收检验:用户在接收铌靶产品时,应按照标准要求进行验收检验,确保产品符合使用要求。
五、标志、包装、运输和储存
1、标志:铌靶产品应有清晰的产品名称、规格型号、生产日期等信息的标志。
2、包装:铌靶产品应采用适当的包装方式,以保护产品在运输过程中不受损坏。
3、运输:铌靶产品在运输过程中应避免剧烈震动和碰撞,以防止产品受损。
4、储存:铌靶产品应储存在干燥、通风、无腐蚀性气体的环境中,以保证产品性能的稳定性。
YS/T 718-2009《平面磁控溅射靶材 光学薄膜用铌靶》标准的制定和实施,对于规范光学薄膜用铌靶的生产和使用、提高产品质量、满足市场需求具有重要意义。各相关企业和用户应严格按照标准要求进行生产、检验和使用,以确保铌靶产品的质量和性能。