标准详情
“掺硼掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程”的标准号是：GB/T 13389-1992
GB/T 13389-1992《掺硼掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程》由国家技术监督局于1992-02-19发布，并于1992-10-01实施。
该标准的起草单位为峨嵋半导体材料研究所；起草人是过惠芬、陈永同、吴道荣 。
“掺硼掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程”介绍
掺硼掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程是用于指导半导体制造过程中对硅材料进行精确掺杂的重要标准。该规程详细描述了如何根据掺杂剂的类型和浓度，计算出硅材料的电阻率，反之亦然。对于掺硼和掺磷的硅单晶而言，掺杂剂的浓度直接影响着材料的导电性能。在实际操作时，通过调整掺杂剂的加入量，可以准确控制硅晶体的电阻率，从而满足不同电子器件的需求。
这一规程为工程师提供了一套标准化方法，用以量化和预测硅基材料在不同掺杂条件下的性能表现。它涉及到复杂的物理化学计算和半导体物理原理，确保了半导体生产过程的稳定性与重复性。通过遵循该规程，制造商能够生产出符合严格电子特性要求的硅单晶，这对于集成电路、太阳能电池和其他高科技产品的性能至关重要。
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