标准详情
“真空技术 扩散硅压阻真空计”的标准号是：JB/T 10553-2006
JB/T 10553-2006《真空技术 扩散硅压阻真空计》由国家发展和改革委员会于2006-05-06发布，并于2006-10-01实施。
该标准的起草单位为沈阳真空技术研究所；起草人是吴春阳、苏玉萍、付晓东、王晓莉 。
“真空技术 扩散硅压阻真空计”介绍
真空技术扩散硅压阻真空计是一种基于微电子机械系统（mems）技术的先进压力测量装置，用于精确监测和控制低压至中压范围内的真空状态。该技术的核心是一片微小的、经过精细加工的硅膜片，其表面覆盖了一层具有特定压阻性质的材料。在应用时，真空环境中的压力改变会导致硅膜片发生形变，进而影响到覆盖在上面压敏材料电阻的变化。
这种变化是通过电路系统检测电阻值的改变来实现压力的测定，因此，扩散硅压阻真空计能够提供连续且实时的压力读数。由于采用了微型化的设计和集成电路工艺，这种真空计不仅体积小巧，易于集成进各类设备和系统中，而且拥有出色的稳定性和高精度的测量性能。它的这些特性使其成为科研实验、半导体生产、航空航天等领域理想的真空度监测工具。
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