标准详情
GB/T 43885-2024《碳化硅外延片》基本信息
标准号:GB/T 43885-2024
中文名称:《碳化硅外延片》
发布日期:2024-04-25
实施日期:2024-11-01 即将实施 距离实施日期还有72天
发布部门:国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
提出单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)
起草单位:南京国盛电子有限公司、广东天域半导体股份有限公司、上海天岳半导体材料有限公司、北京天科合达半导体股份有限公司、瀚天天成电子科技(厦门)股份有限公司、TCL环鑫半导体(天津)有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、南京盛鑫半导体材料有限公司等
起草人:李国鹏、仇光寅、刘勇、骆红、李素青、丁雄杰、舒天宇、佘宗静、冯淦、杨玉聪、王银海、侯晓蕊、薛宏伟、刘红超、金向军、尚海波、刘薇、王岩、徐所成、李毕庆、陈浩、袁肇耿、周勋、刘长春、汪之涵、黄勤金、赵丽丽、胡动力、和巍巍
中国标准分类号:H83化合物半导体材料
国际标准分类号:29.045半导体材料
GB/T 43885-2024《碳化硅外延片》介绍
GB/T 43885-2024《碳化硅外延片》标准,是中国首个关于碳化硅外延片的国家标准。
一、技术要求
1、材料特性
标准对碳化硅外延片的材料特性提出了明确要求,包括但不限于晶格缺陷密度、电阻率、载流子浓度、表面平整度等。这些特性直接影响到外延片的电子性能和可靠性。
2、尺寸和形状
标准规定了外延片的尺寸范围和允许的公差,以及形状和边缘处理的要求。这有助于确保外延片在制造过程中的一致性和适用性。
3、表面质量
对于外延片的表面质量,标准提出了严格的要求,包括表面缺陷、污染物和损伤等。高质量的表面是保证外延片性能的关键。
二、试验方法
标准详细描述了用于评估外延片各项性能的试验方法,包括但不限于:
晶格缺陷的检测方法;
电阻率和载流子浓度的测量方法;
表面平整度的测量方法;
表面缺陷和污染物的检测方法。
三、检验规则
标准规定了外延片的检验规则,包括抽样方法、检验项目和合格判定标准。这些规则有助于确保外延片在生产过程中的质量控制。
四、标志、包装、运输和贮存
1、标志
标准要求外延片必须有清晰的标识,包括产品名称、规格、生产日期等信息,以便于追踪和识别。
2、包装
对于外延片的包装,标准提出了保护性、防潮、防震等要求,以确保产品在运输和存储过程中的安全。
3、运输
标准建议采取适当的运输方式,以减少对产品的损害。
4、贮存
标准规定了外延片的贮存条件,包括温度、湿度和环境要求,以保持产品的稳定性和性能。
五、实施意义
GB/T 43885-2024《碳化硅外延片》标准的发布和即将实施,对于推动中国碳化硅材料产业的标准化、规模化和国际化具有重要意义。不仅有助于提高国内碳化硅外延片的生产质量和技术水平,还能促进相关企业的技术创新和市场竞争力,为实现绿色、高效、可持续的半导体产业发展提供支撑。
