标准详情
GB/T 11164-2011《真空镀膜设备通用技术条件》基本信息
标准号：GB/T 11164-2011
中文名称：《真空镀膜设备通用技术条件》
发布日期：2011-11-21
实施日期：2012-06-01
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
提出单位：中国机械工业联合会
归口单位：全国真空技术标准化技术委员会(SAC/TC 18)
起草单位：北京北仪创新真空技术有限责任公司、上海曙光机械制造厂有限公司、兰州真空设备有限责任公司、成都南光机器有限公司等
起草人：陈月增、谢钧荣、范立群、孙凯、温发兰、靳毅、刘强、惠进德、王学智
中国标准分类号：J18链传动、皮带传动与键联结
国际标准分类号：23.160真空技术
GB/T 11164-2011《真空镀膜设备通用技术条件》介绍
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局与中国国家标准化管理委员会联合发布了《真空镀膜设备通用技术条件》（GB/T 11164-2011），该标准于2011年11月21日发布，并于2012年6月1日正式实施。
一、标准概述
《真空镀膜设备通用技术条件》（GB/T 11164-2011）是一项国家标准，该标准规定了真空镀膜设备的基本要求、性能要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等方面的技术要求。
二、基本要求
1、设备组成
标准规定了真空镀膜设备应包括的主要组成部分，如真空室、真空泵、控制系统、电源系统、镀膜材料供给系统等。
2、安全要求
设备的设计和制造应符合国家有关安全标准的规定，确保操作人员的安全。
3、环保要求
设备在运行过程中应符合国家环保法规，减少有害物质的排放。
三、性能要求
1、真空度
设备应能够在规定的时间内达到并保持所需的真空度。
2、镀膜均匀性
镀膜设备应保证镀膜层的均匀性，以满足产品质量要求。
3、镀膜速率
标准规定了设备在不同条件下的镀膜速率要求。
4、镀膜材料利用率
设备应提高镀膜材料的利用率，减少浪费。
四、检验方法
1、真空度检验
规定了真空度的检验方法，包括使用真空计测量和通过试验验证。
2、镀膜均匀性检验
介绍了镀膜均匀性的检验方法，包括使用光学仪器和电子仪器进行检测。
3、镀膜速率检验
详细说明了镀膜速率的检验流程和标准。
4、镀膜材料利用率检验
阐述了如何检验镀膜材料的利用率，以及相关的计算方法。
五、检验规则
1、出厂检验
规定了设备出厂前必须进行的检验项目。
2、型式检验
明确了设备在研发、改进后必须进行的型式检验。
3、定期检验
指出了设备在正常使用过程中的定期检验要求。
六、标志、包装、运输和贮存
1、标志
规定了设备上必须标明的信息，如设备型号、生产厂家、出厂日期等。
2、包装
对设备包装的方式、材料和要求进行了规定。
3、运输
提供了设备在运输过程中的保护措施和注意事项。
4、贮存
说明了设备在贮存过程中的环境要求和保养措施。
《真空镀膜设备通用技术条件》（GB/T 11164-2011）的发布和实施对于规范真空镀膜设备的生产和使用具有重要意义。它不仅提高了设备的安全性和环保性，还确保了镀膜产品的质量。通过对该标准的解读，相关企业和技术人员可以更好地理解和应用标准，提升产品的市场竞争力。
