标准详情
GB/T 1558-2023《硅中代位碳含量的红外吸收测试方法》基本信息
标准号:GB/T 1558-2023
中文名称:《硅中代位碳含量的红外吸收测试方法》
发布日期:2023-12-28
实施日期:2024-07-01
发布部门:国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
提出单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)
起草单位:中国电子科技集团公司第四十六研究所、青海芯测科技有限公司、天津中环领先材料技术有限公司、浙江金瑞泓科技股份公司、山东有研半导体材料有限公司、浙江海纳半导体股份有限公司、布鲁克(北京)科技有限公司、中国计量科学研究院、有色金属技术经济研究院有限责任公司等
起草人:李静、何烜坤、刘立娜、李素青、索开南、马春喜、薛心禄、张雪囡、张海英、孙韫哲、王彦君、沈益军、赵跃、王军锋、李兰兰、邹剑秋、徐顺波、李寿琴、张宝顺、刘国霞、徐岩、李明达、陆勇、皮坤林、杜伟华
中国标准分类号:H17半金属及半导体材料分析方法
国际标准分类号:77.040金属材料试验
GB/T 1558-2023《硅中代位碳含量的红外吸收测试方法》介绍
GB/T 1558-2023《硅中代位碳含量的红外吸收测试方法》是由国家市场监督管理总局和国家标准化管理委员会联合发布的一项国家标准。该标准于2023年12月28日发布,预计将于2024年7月1日正式实施。
一、标准内容解读
1、适用范围
GB/T 1558-2023标准适用于硅材料中代位碳含量的测定,特别适用于高纯硅材料的检测。通过红外吸收光谱法,可以对硅材料中的代位碳含量进行定量分析。
2、术语和定义
标准中明确了“代位碳”、“红外吸收光谱法”等专业术语的定义,为理解和应用标准提供了基础。
3、原理
该标准基于红外吸收光谱法的原理,通过测量硅材料在特定波长下的红外吸收强度,来计算代位碳的含量。这种方法具有高灵敏度和高选择性,能够准确测定硅材料中的碳含量。
4、仪器和试剂
标准详细列出了进行红外吸收测试所需的仪器设备和试剂,包括红外光谱仪、样品制备设备以及所需的化学试剂等。
5、样品制备
样品制备是测试过程中的关键步骤。标准规定了样品的采集、处理和制备方法,确保样品的代表性和测试结果的准确性。
6、测试步骤
标准详细描述了从样品制备到最终结果计算的整个测试流程,包括样品的红外吸收光谱测量、数据处理和代位碳含量的计算方法。
7、结果表示
标准规定了测试结果的表示方法,包括代位碳含量的单位、有效数字和报告格式等。
二、标准的意义
GB/T 1558-2023标准的发布和实施,对于提高硅材料的检测准确性、保证产品质量具有重要意义。它不仅为硅材料的生产和检测提供了科学依据,还有助于推动相关行业的技术进步和产品质量的提升。
