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SJ/T 11495-2015《硅中间隙氧的转换因子指南》基本信息
标准号:SJ/T 11495-2015
中文名称:《硅中间隙氧的转换因子指南》
发布日期:2015-04-30
实施日期:2015-10-01
发布部门:中华人民共和国工业和信息化部
SJ/T 11495-2015《硅中间隙氧的转换因子指南》介绍
中华人民共和国工业和信息化部于2015年发布了SJ/T 11495-2015《硅中间隙氧的转换因子指南》,旨在指导硅中间隙氧含量的准确测定和评估。
一、标准概述
本标准规定了硅中间隙氧含量的测定方法、转换因子的确定以及结果的表示等内容。通过本标准的实施,可以确保硅中间隙氧含量的测定结果具有较高的准确性和可比性,为硅材料的质量控制和性能评估提供有力支持。
二、硅中间隙氧的测定方法
本标准推荐的硅中间隙氧含量的测定方法主要包括以下几种:
1、红外吸收法:通过测量硅片在特定波长下的红外吸收,计算出间隙氧的含量。
2、二次离子质谱法:利用二次离子质谱仪对硅片进行分析,测定间隙氧的含量。
3、X射线光电子能谱法:通过测量硅片表面的X射线光电子能谱,推断出间隙氧的含量。
三、转换因子的确定
转换因子是将测定结果转换为硅中间隙氧含量的关键参数。本标准规定了转换因子的确定方法,包括:
1、实验测定法:通过实验测定不同氧含量的硅片的红外吸收、二次离子质谱或X射线光电子能谱信号,建立信号强度与氧含量的关系,从而确定转换因子。
2、理论计算法:根据硅的晶体结构和氧的溶解度,通过理论计算得到转换因子。
四、结果的表示
本标准要求硅中间隙氧含量的测定结果应以质量分数的形式表示,并给出相应的不确定度。还应注明所使用的测定方法和转换因子。
五、标准的应用
本标准适用于各种类型的硅材料,包括单晶硅、多晶硅、硅片等。通过本标准的实施,可以为硅材料的生产、加工和应用提供准确的氧含量信息,从而提高硅材料的质量和性能。
SJ/T 11495-2015《硅中间隙氧的转换因子指南》的发布和实施,为硅中间隙氧含量的准确测定提供了科学依据和方法指导。通过本标准的推广应用,可以进一步提升硅材料的质量控制水平,推动半导体工业的持续发展。
